A.烘烤的目的是除去光刻胶中的水分
B.烘烤可以减轻曝光中的驻波效应
C.烘烤的温度一般在300℃左右
D.烘烤的时间越长越好
第1题
第2题
第3题
第4题
A.增加真空循环烘烤2次
B.增加30min烘烤
C.温度增加5℃烘烤30min
第5题
A.一涂层一次烘烤
B.二涂层二次烘烤
C.三涂层三次烘烤
D.四涂层四次烘烤
第6题
第7题
第8题
A.A. 煤气流量
B.B. 烘烤地点
C.C. 烘烤时间
第9题
第10题
A.后烘
B.去水烘烤
C.软烤
D.烘烤
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