镀膜车间造成EL石墨舟印的因素有（）

A.真空吸笔

B.载板（或石墨舟）

C.SE400型椭偏仪

D.花篮

A.硅片表面形貌差异过大

B.插片未插好

C.工艺气体流量不足

D.石墨舟未及时清洗

A.镀膜局部发红，是由于制绒面大小不一导致

B.镀膜发红，是由于镀膜时间不够导致

C.镀膜发白，是由于气流量不够导致

D.镀膜不均匀，是由于石墨舟未清洗导致

A.3天至少清洗一次

B.7天至少清洗一次

C.每月清洗一次

D.每月清洗两次

A.石英舟

B.石墨舟

C.特氟龙镊子

D.竿槽花篮

A.系统图框

B.工艺编辑

C.系统扩展

D.舟信息编辑

A.DA

B.NH3

C.N2

D.SIH4

A.外延炉

B.石英反应管

C.石墨生长舟

D.氢气发生器