以下哪些（）是扩散工序用到的工装夹具

A.进行机台工艺卫生操作

B.清空产线石英舟

C.将石英舟用保鲜膜包裹

D.先将石英舟放地上，维护结束后进行处理

A.外延炉

B.石英反应管

C.石墨生长舟

D.氢气发生器

A.安全门未关闭

B.没在自动化模式下

C.搬舟机构位置不对

D.石英舟没感应到

A.充气皮划艇

B.平台舟

C.海洋舟

D.以上都是

A.耐热陶瓷器皿

B. 金属器皿

C. 石英舟

D. 玻璃器皿

A.指定的桌面、货架或者氮气柜中

B.地上

C.货架上

D.柜子里

A.氙灯

B.振动

C.高低温

D.阻燃

A.氙灯

B.振动

C.高低温

D.阻燃

A.酸的初配是32L氢氟酸、16L盐酸与足量的水

B.酸洗三小时后才能水洗

C.洗完后要用PH试纸检测是否洗净

D.洗石英舟一个人就能完成