第1题
B、湿法清洗
C、超声清洗
D、等离子体清洗
第2题
B、等离子体清洗
C、无机清洗
D、超声清洗
第3题
B、无机清洗
C、气相清洗
D、UV/O3清洗
第4题
第5题
B、具有分辨率高、各向异性腐蚀能力强的特点
C、腐蚀的选择比大、重复性好
D、会产生化学废液、易引入污染,洁净度较低
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