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[判断题]

与干法刻蚀相比，湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比，对器件不会带来等离子体损伤，并且设备简单。

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更多“与干法刻蚀相比，湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比，对器件不会带来等离子体损伤，并且设备简单。”相关的问题

第1题

什么是干法刻蚀？干法刻蚀相比于湿法腐蚀的优点有哪些？...

什么是干法刻蚀？干法刻蚀相比于湿法腐蚀的优点有哪些？

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第2题

湿法腐蚀比干法刻蚀的各向异性好。
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第3题

题3-1-10 与湿法腐蚀比较，以下是干法刻蚀的优点是： 。

A、保真度好，图形分辨率高；

B、高选择比

C、速度快

D、设备简单

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第4题

刻蚀技术分湿法刻蚀和干法刻蚀两种，湿法刻蚀是指化学腐蚀，干法刻蚀容易出现钻蚀问题。
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第5题

氮化硅湿法刻蚀常常采用的湿法腐蚀液为

A、氢氟酸

B、磷酸

C、硝酸

D、硫酸

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第6题

氮化硅湿法刻蚀常常采用的湿法腐蚀液为

A、HF

B、HNO3

C、H3PO4

D、H2SO4

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第7题

硅湿法刻蚀常采用的湿法腐蚀液成分包括

A、HF

B、H2O2

C、HNO3

D、H2O

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第8题

硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸，干法刻蚀所用的气体为NF3
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第9题

干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件，例如大于3微米。
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第10题

下面选项中（）关于干法刻蚀的说法是错误的。

A、会产生化学废液、易引入污染，洁净度较低。

B、干法刻蚀主要是指利用等离子体放电产生的化学过程对材料表面的加工

C、具有分辨率高、各向异性腐蚀能力强的特点

D、腐蚀的选择比大、重复性好

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