微细加工技术对铣刀的要求非常高，下列关于微细加工使用的铣刀说法正确的是（）

A.微细加工使用的刀具材料为金刚石涂层硬质合金和超细晶粒硬质合金

B.微细加工使用铣刀直径一般在0.5～1mm

C.微细加工使用铣刀切削刃非常锋利

D.微细加工使用铣刀夹持部分精度为h6

基于硅微细加工技术有()

A体硅微细加工技术

B表面硅微细加工技术

C线硅微细加工技术

D键合技术

体硅微细加工技术是以单晶硅为加工对象。()

A.电子束微细加工

B.聚焦离子束微细加工

C.激光束微细加工

D.光刻微细加工

微细加工中的关键技术有()

A微系统建模技术

B微细加工技术

C微型机械组装和封装技术

D自组织成型工艺

电子束能够极其微细地聚焦，所以电子束加工是一种精密微细加工方法。( )

A.微细车削

B.微细铣削

C.微细钻削

D.微细磨削

E.微冲压

微细加工是指加工尺度在纳米级的加工方式。()

A.微系统建模技术

B.微细加工技术

C.微型机械组装和封装技术

D.自组织成型工艺

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种()

A.离子束刻蚀、激光刻蚀

B.干法刻蚀、湿法刻蚀

C.溅射加工、直写加工