研磨抛光加工是利用研具和研磨剂从工件上研去一层极薄金属层的精加工方法（）

B．磨

C．洗

D．砂

此题为判断题(对，错)。

B、第二道

C、最后一道

D、最后二道

此题为判断题(对，错)。

A. 0.05

B. 0.02

C. 0.005

D. 0.002

A. 0.002

B. 0.02

C. 0.001

D. 0.01

B、降低研磨速率的方法精磨与阻挡层接触的金属，并通过终点侦测使研磨停在阻挡层上

C、磨掉阻挡层以及少量的介质氧化物

D、用大量的去离子水(DIW)清洗研磨垫和晶圆两侧表面

A、将邻牙的邻接面在制作熔模之前刮去0.5mm

B、将邻牙的邻接面在制作熔模之后刮去0.5mm

C、用滴蜡器熔蜡，滴在熔模冠邻面，使之形成一与熔模可分辨的明显的突起

D、用滴蜡器熔蜡，滴在熔模冠邻面，使之完全熔合一体，不形成边缘边界线

E、按照原正常间隙制做好的熔模不需在邻接面加蜡