第1题
A.0.2um
B.0.2nm
C.2.0nm
D.2.0um
第2题
B:0.5μm
C:0.2μm
D:0.1μm
第3题
A.0.1~0.3mm
B.0.2mm
C.0.2μm
D.0.2nm
E.0.2cm
第4题
A.2nm
B.0.2μm
C.0.2nm
D.2μm
E.5μm
第5题
第6题
第7题
A、利用透镜减少衍射技术
B、移相掩膜技术
C、离轴照明技术
D、浸润式光刻技术
第8题
第9题
此题为判断题(对,错)。
第10题
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