第6题
A、峰值浓度为9.5×10∧17离子/cm;
B、在0.2μm处杂质浓度是3.7×10∧17离子/cm∧2;
C、峰值浓度为9.5×10∧13离子/cm∧2;
D、在0.2μm处杂质浓度是3.7×10∧13离子/cm∧2。
第7题
A、注入离子越轻,临界剂量越小;
B、靶温升高,临界剂量上升;
C、注入离子能量越高,临界剂量越低;
D、注入离子剂量率增大,临界剂量降低。
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