电子束蒸发的薄膜比电阻丝加热蒸发杂质沾污少，纯度更高。

A、MOCVD

B、电子束蒸发

C、VPE

D、MBE

按蒸发源加热方法的不同，真空蒸发工艺可分为：()蒸发、()蒸发、离子束蒸发等。

A.电阻加热

B.电子束

C.蒸气原子

此题为判断题(对，错)。

为提高蒸发效率，可采用( )

A、减压蒸发

B、常压蒸发

C、薄膜蒸发

D、加热温度与液体温度，两者温度差要小

E、蒸发速度与蒸发时液面上大气中的蒸发浓度成正比

药液通过有蒸汽加热的管壁而被蒸发

A.升膜式蒸发器

B.降膜式蒸发器

C.刮板式薄膜蒸发器

D.离心式薄膜蒸发器

E.管式蒸发器

最常用的金属膜制备方法有()加热蒸发、()蒸发、()。

薄膜蒸发浓缩效率高的主要原因是

A．蒸发温度高

B．药液沸点降低

C．药液蒸发时流速快

D．药液气化表面大

E．加热蒸汽温度高

薄膜蒸发浓缩效率高的主要原因是

A．蒸发温度高

B．药液沸点降低

C．药液蒸发时流速快

D．药液气化表面大

E．加热蒸汽温度高

图3-3所示为由1000℃的加热室中蒸发产生的铍(相对原子质量为9)原子束的简单示意图．加热室A中蒸发出来的铍原子经小孔逸出，再经狭缝准直器B而形成原子束，最后进入另一真空室D中．

  

A、磁控溅射和射频溅射

B、电子束蒸发

C、电阻丝加热蒸发

D、ICP-CVD